製品の用途および液晶の性能

    • 導体および液晶の製造工程でナノスケールの精密な位置制御技術が可能
    • 半導体および液晶の工程整備に装着され、精密な往復移送が可能
    • 耐環境性&精密な位置決定性を同時に確保(ファインセラミックス)

    性能
    -Storoke:350×350mm
    -Straightness / Position Accuracy / Repeatability :200nm
    -Rail 平面度 / 直角度 / 並行度:2μm以内

    xystage

    xystage

    Linear Motion Unit (CERAMIC X-Y STAGE)

    ・活用分野
    半導体および液晶製造装備(Stepper,Wafer検査装備)、IT装備(X-Ystage)
    精密測定機器(3次元測定器)、自動化機械(産業用ロボット)、マイクロ工作機械