製品の用途および液晶の性能
- 導体および液晶の製造工程でナノスケールの精密な位置制御技術が可能
- 半導体および液晶の工程整備に装着され、精密な往復移送が可能
- 耐環境性&精密な位置決定性を同時に確保（ファインセラミックス）
性能
－Storoke：350×350mm
－Straightness / Position Accuracy / Repeatability ：200nm
－Rail 平面度 / 直角度 / 並行度：2μm以内
xystage
Linear Motion Unit （CERAMIC X-Y STAGE）
・活用分野
半導体および液晶製造装備（Stepper,Wafer検査装備）、IT装備（X-Ystage）
精密測定機器（３次元測定器）、自動化機械（産業用ロボット）、マイクロ工作機械